韦德国际1946

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FBA6432_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人

FBA6432_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人
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  • FBA6432_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人

  • 产品描述
  • 规格参数
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    • 商品名称: FBA6432_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人
    • 产品: 半导体机器人
    • 应用: 大气晶圆系列
    • 负载: 2-5KG
    • 臂长: 500-1000mm

    FBA6432D_5轴大气水平多关节型双臂双手指晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

    5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人
    FBA6432_FBA系列半导体机器人
     
    • 采用闭环伺服控制
    • 可根据设备布局定制臂长和Z轴行程
    • 可选配免电池绝对式编码器
    • 可选末端执行器类型:真空吸附式、边缘夹持式

    臂长

    640mm

    额定/最大负载

    4kg

    搬运物

    ≤Φ300mm晶圆

    韦德国际1946众为兴FBA6432D_5轴大气水平多关节型单臂双手指晶圆搬运机器人
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FBA6432D_5轴大气水平多关节型双臂双手指晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。


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