韦德国际1946

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    JC48B_3轴大气晶圆校准器

    JC48B_3轴大气晶圆校准器
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    • JC48B_3轴大气晶圆校准器
    • 产品描述
    • 规格参数
    • 资料下载
      • 商品名称: JC48B_3轴大气晶圆校准器
      • 产品: 半导体机器人
      • 应用: 校准系列
      • 负载: 1-2KG
      • 臂长: 100-199mm

      JC48B_3轴大气晶圆校准器，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

      3轴大气晶圆校准器
      JC48B_JC系列半导体机器人
       
      • 采用闭环伺服控制
      • 晶圆固定方式：真空吸附

      校准晶圆尺寸

      Φ100-Φ200mm

      校准精度

      晶圆中心：±0.1mm
      晶圆缺口：±0.1°

      校准时间

      3sec

      韦德国际1946众为兴JC48B_3轴大气晶圆校准器

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