韦德国际1946

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VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
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  • VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
  • 产品描述
  • 规格参数
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    • 商品名称: VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
    • 产品: 半导体机器人
    • 应用: 真空晶圆系列
    • 负载: 1-2KG
    • 臂长: 500-1000mm

    TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

    3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人
    VA5204_VA系列半导体机器人
     
    • ● 可根据设备布局定制臂长及Z轴行程
    • ● 采用闭环伺服控制
    • ● 末端执行器类型：下托式
    • ● 可选配免电池绝对式编码器

    •  

    臂长

    520mm

      额定/最大负载

     2kg

    搬运物

    ≤Φ300mm晶圆

    韦德国际1946众为兴VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

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VA5204_3轴真空圆柱坐标单臂晶圆搬运机器人

TBA4030F-07-09_4轴大气圆柱坐标双臂晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

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