韦德国际1946

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AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人

AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人
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  • AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人
  • 产品描述
  • 规格参数
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    • 商品名称: AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人
    • 产品: 半导体机器人
    • 应用: 真空晶圆系列
    • 负载: 1-2KG
    • 臂长: 200-499mm

    AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

    4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人
    AHYB2110F_AHY系列半导体机器人
     
    • ● 高可靠真空隔离，从容应对高真空环境
    • ● 电机直接驱动机器人运动，提升运行可靠性
    • ● 高强度高刚性钢带传动，实现手臂高传动精度
    • ● 采用闭环伺服控制，实现高精度位置控制
    • ● 同时实现双工位交换晶圆动作（Swap）

    臂长

    213.4mm

      额定/最大负载

     ≤1kg

    搬运物

    ≤Φ300mm晶圆

    韦德国际1946众为兴4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人

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AHYB2110F_4轴真空直驱双臂B型晶圆搬运机器人，自主研发安全可控，可全面替代进口品牌。

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